螺桿真空泵因其無油污染、低噪音、高真空度等優勢，廣泛應用于半導體、醫藥凍干及制造領域。然而在長期運行中，若維護不當或工況異常，易出現極限真空不足、電機過載、異常振動、排氣溫度過高或泄漏等問題。及時精準解決
螺桿真空泵故障現象，是保障工藝連續性的關鍵。
問題一：極限真空度達不到要求（如＞10Pa）
原因：系統泄漏、進氣過濾器堵塞、轉子間隙增大或冷卻不足。
對策：
用氦質譜檢漏儀或皂泡法排查管道、法蘭、密封圈等處泄漏點；
清潔或更換進氣口濾芯（建議每2000小時更換）；
檢查冷卻水流量與溫度（進水≤30℃），確保冷卻器無結垢；
若運行超2萬小時，可能轉子磨損，需返廠檢測間隙。
問題二：電機電流過高或頻繁跳閘
原因：排氣背壓過大、轉子卡滯、電壓不穩或潤滑不良（軸承部分）。
對策：
檢查排氣管是否堵塞，確保背壓＜0.2bar；
手動盤車確認轉子轉動靈活，無異物卡入；
測量三相電壓是否平衡（偏差≤±5%）；
檢查軸承潤滑狀態（部分機型需定期加注高溫潤滑脂）。
問題三：運行中出現異常振動或金屬摩擦聲
原因：地腳松動、聯軸器不對中、轉子碰殼或異物進入。
對策：
緊固地腳螺栓，復測水平度；
檢查電機與泵體聯軸器對中精度（徑向偏差≤0.05mm）；
立即停機，拆檢進氣端是否有焊渣、顆粒物進入；
若已發生刮擦，需專業人員評估轉子損傷程度。
問題四：排氣溫度過高（＞120℃）
原因：冷卻系統失效、環境溫度高或長時間高負荷運行。
對策：
清洗冷卻器水垢，確保水路暢通；
在高溫車間加裝通風或遮陽措施；
避免在極限壓比下長時間運行，必要時增加前置粗抽泵。
您的位置：
電話0510-86607775
傳真86-0510-86606772 
郵箱18006168180@elmvac.cn
公司地址江蘇省江陰市臨港新城西石橋鎮澄路3001號
在線交流
咨詢電話